作者:知识热点 发布日期: 2022-10-25 浏览量:
设计半导体芯片实验室需要哪些要点,半导体芯片检测技术正朝着多样化发展。目前最常用的检测器是荧光和电化学检测器。随着固态电子器件的发展,芯片实验室(Lab-on-a-Chip)是指将新型半导体材料直接与TFT电路或CMOS电路集成,制备成像、检测等多功能芯片。下面说说半导体芯片实验室建设的最新规划方案,以及设计半导体测试实验室需要注意的问题。
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半导体芯片实验室由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
1、室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2、垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3、与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4、洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:
5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6、保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
7、净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量。
实验室的配电系统是根据实验仪器和设备的具体要求,经过专业的设计人员综合多方面因素设计完成的,与普通建筑有很大区别。因为,实验室仪器设备对电路的要求比较复杂,并不是通常人们所认为的那样,只要满足Z大电压和Z大功率的要求就可以了。事实上有很多仪器设备对电路都有特殊的要求。